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反映誤差大小的程度成為精度。精度高的誤差小，精度低的誤差大。精度有分為精密度、正確度、準(zhǔn)確度。
精密度表示測量結(jié)果中隨機(jī)誤差大小的程度，它反映了在一定條件下，進(jìn)行多次測量時(shí)所得測量結(jié)果之間的分散程度。
正確度表示測量結(jié)果中系統(tǒng)誤差大小的程度，它反映了測量結(jié)果的正確程度。
準(zhǔn)確度又稱為度是反映系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差兩者大小的程度，它表示測量結(jié)果和真值之間的一定程度，它綜合地反映測量結(jié)果的正確程度和精密程度。
比如涂層測厚儀里一般提到的精度更多時(shí)候指的是準(zhǔn)確度的含義。
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